質量流量控制器可以測量和控制各種氣體的質量流量和標況流量，產品的主要優點為無需溫壓補償，測量的準確度高，響應速度快。是基于流體流動的節流原理，利用流體流經節流裝置時產生的壓力差而實現流量測量的。

　　快速的控制響應不僅能確保設備迅速到達設定值，同時還能維持穩定的流量，以避免受到壓力波動的影響。毫無疑問，一臺設備的響應速度對測量精度及穩定的流量控制有著至關重要的作用。

　　物理時間常數：物理時間常數用希臘字母Tau來表示，是現今為數不多的用來描述響應時間的標準之一，即：控制器到達設定值某個百分比所需要的時間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對數底數的無理數，其值為2.72，所以1-1/e即為設定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標準，可能說明不了什么問題，因為余下的設定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。

　　任意設定值百分比變化區域：不少質量流量控制器的技術參數采用設定值某一百分比區間內的變化來定義設備響應速度，比如：從設定值的10%到達90%所需要的時間。由于10%控制響應曲線變化大，由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。

　　穩定時間：由于到達設定值后控制器可能會發生超調，所以通常制造商用到達設定值且穩定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉例， 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內即為穩定。一般質量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩定容許范圍擴大到10%。如果用戶要將流量控制在期望的設定值，那么其穩定容許范圍也須落在設備精度范圍內。