質(zhì)量流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計(jì)的一款可直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量的儀表，其基本原理是在一根直徑很小(4毫米)的薄壁金屬管(常用不繡鋼、純鎳或蒙乃爾臺(tái)金等耐蝕合金)的外壁，對(duì)稱繞上四組電阻絲，相互聯(lián)接組成惠斯頓電橋。

 

　　通過(guò)測(cè)量?jī)x表內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來(lái)計(jì)量氣體流量的，氣體通過(guò)的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為溫度檢測(cè)，另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度，加熱器則通過(guò)改變電流來(lái)保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來(lái)反映氣體的流量。

 

　　質(zhì)量流量計(jì)與恒溫差式流量計(jì)的結(jié)構(gòu)類似，在測(cè)量管路中同樣加入兩個(gè)金屬鉑電阻，一個(gè)為用于測(cè)量被測(cè)流體溫度的測(cè)溫電阻，另一個(gè)為用于測(cè)量被測(cè)流體速度的測(cè)速電阻。鉑電阻連接在惠斯通電橋中，鉑電阻的溫度不同使鉑電阻的電阻呈現(xiàn)不同阻值，從而使電橋不平衡，通過(guò)檢測(cè)電橋的電壓差來(lái)反應(yīng)流體流量。

 

　　測(cè)量出現(xiàn)誤差，檢查方法：

 

　　1、質(zhì)量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標(biāo)定壓力，如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠就會(huì)出現(xiàn)達(dá)不到標(biāo)定量程。

 

　　2、零點(diǎn)是否有漂移，首先需接通電源，質(zhì)量流量控制器信號(hào)為0的情況下，則需要用萬(wàn)網(wǎng)表測(cè)一下輸出信號(hào)值以及看一下電源控制器的反饋信號(hào)。

 

　　3、氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會(huì)收到影響，這個(gè)時(shí)候可以用高純N2多次清掃。